微波等离子清洗机
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| 编号 | 内容 | 规格参数 |
|---|---|---|
| 1 | 项目 | 固态源版本/磁控管版本 |
| 2 | 输出功率 | 250W×8/1.25kW×2 |
| 3 | 输出频率 | 2400MHz-2500MHz可调节/2450MHz±25MHz |
| 4 | 频率误差 | ±50ppm/1-2% |
| 5 | 微波泄露 | ≤2mW/cm2 |
| 6 | 冷却方式 | 水冷 |
| 7 | 工艺气体 | Ar、O2、H2、CF4等 |
| 8 | 等离子处理面积 | 0.19m2/0.15m2 |
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