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PM120L/PM180L等离子处理机

编号	内容	规格参数
1	机台整机规格	PM120L: 1320(W)×1720(H)×1030(D)mm PM180L: 1400(W)×1720(H)×1050(D)mm
2	真空室规格	550(W)×635(H)×535(D)mm
3	电极板规格	PM120L: 10层平板式电极板（470(W)×410(D)mm）可定制 PM180L: 10层平板式电极板（530(L)×400(W)mm）可定制
4	控制系统	触摸屏+PLC控制
5	真空测定系统	皮拉尼电阻式真空计
6	气体计量系统	精确质量流量控制计 MFC
7	气体路数	2—5路工作气体可选：Ar2、N2、H2、CF4、O2
8	等离子发生器	500W&1KW等离子体发生源，40KHz（可选13.56MHz）
9	工作气体	2路工作气体可选：Ar2、N2、H2、O2
特点：高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持。用途：适用于摄像头及行业，手机制造、半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。 1、摄像头、指纹识别行业：软硬结合板的金PAD表面去氧化；IR表面清洗、清洁； 2、半导体IC领域：COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗； 3、硅胶、塑胶、聚合体领域：硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。