编号 | 内容 | 规格参数 |
---|---|---|
1 | 机台型号 | OKSUN-RTR2000L-W800H |
2 | 处理宽幅 | 100mm~800mm(可定制) |
3 | 真空腔 | 2000L(可定制) |
4 | 电源系统 | 2KW~10KW等离子体发生源 |
5 | 控制系统 | 触摸屏+PLC自动控制 |
6 | 进气系统 | 标配2路工作气体,可扩展至5路工作气体(Ar2、N2、H2、CF4、O2) |
机台用途:用于处理PI聚酰亚胺薄膜、FPC柔性线路板的真空卷对卷设备; 设备特点:主要用于处理100~600mm宽幅之材料,材料在真空室内部水平处理,上下料简单,可用于刻蚀工艺。 |
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