PCB用水平等离子处理机OKSUN-PM17A_PCB用水平等离子处理设备_真空等离子处理设备_产品中心

PCB用水平等离子处理机OKSUN-PM17A

编号	内容	规格参数
1	机台整机规格	2000(W)×1500(D)×1960(H) mm
2	真空室规格	1030(W)×1100（D)×1070(H) mm
3	电极板规格	17层平板式电极板（944W×790 D mm (28W ×24D in)）
4	控制系统	PC工控系统+PLC自动控制
5	真空测定系统	皮拉尼电阻式真空计
6	气体计量系统	精确质量流量控制计 MFC
7	气体路数	2—5路工作气体可选：Ar2、N2、H2、CF4、O2
8	等离子发生器	10KW等离子体发生源（40KHz，可选13.56MHz）
9	工作气体	2路工作气体可选：Ar2、N2、H2、O2
特点：高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持。用途：适用于摄像头及行业，手机制造、半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。 1、印制线路板行业：高频板表面活化，多层板表面清洁、去钻污，软板、软硬结合板表面清洁、去钻污，软板补强前活化。 2、半导体IC领域：COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗； 3、硅胶、塑胶、聚合体领域：硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。