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PR24L/40L等离子清洗机

编号	内容	规格参数
1	机台整机规格	PR24L :650(W)×1240(H)×580(D)mm PR40L: 750(W)×550(H)×650(D)mm
2	真空室规格	PR24L :进口铝 600(W)×600(H)×600(D)mm PR40L:进口铝 350(W)×300(H)×400(D)mm
3	电极板规格	PR24L，6层平板式电极板（ 240(W)×270(D)mm） PR40L，8平板式电极板（330(W)×315(D)mm）
4	控制系统	触摸屏+PLC控制
5	真空测定系统	皮拉尼电阻式真空计
6	气体计量系统	精确质量流量控制计 MFC
7	气体路数	2—5路工作气体可选：Ar2、N2、H2、CF4、O2
8	等离子发生器	0-1KW等离子体发生源（40KHz，可选13.56MHz）
9	工作气体	2路工作气体可选：Ar2、N2、H2、O2
特点：高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持。用途：适用于摄像头及行业，手机制造、半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。 1、印制线路板行业：高频板表面活化，多层板表面清洁、去钻污，软板、软硬结合板表面清洁、去钻污，软板补强前活化。 2、半导体IC领域：COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗； 3、硅胶、塑胶、聚合体领域：硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。