实验用真空等离子设备PR10L_实验型等离子处理设备_真空等离子处理设备_产品中心

实验用真空等离子设备PR10L

编号	内容	规格参数
1	机台整机规格	650mm(W)×550mm(D)×450mm(H)
2	真空室规格	进口铝 200(W)×200(H)×250(D)mm,10L
3	电极板规格	专用铝电极 150(L)×150(W)mm
4	真空泵系统	机械旋片真空泵（外置）
5	真空测定系统	皮拉尼电阻式真空计
6	气体计量系统	可调节浮子流量计
7	气体路数	2路进气，1路放空
8	等离子发生器	40KHz，高频发生源，0-1000W可调
9	工作气体	2路工作气体可选：Ar2、N2、H2、O2
特点：高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持适用于高校实验室、半导体IC领域，体积较小的产品的表面情急与活化。用途：适用于摄像头及行业，手机制造、半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。 1、摄像头、指纹识别行业：软硬结合板的金PAD表面去氧化；IR表面清洗、清洁； 2、半导体IC领域：COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗； 3、硅胶、塑胶、聚合体领域：硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。