编号 | 内容 | 规格参数 |
---|---|---|
1 | 处理宽幅 | 100mm~600mm(可定制) |
2 | 真空腔 | 1200L(可定制) |
3 | 电源系统 | 2KW~10KW等离子体发生源 |
4 | 控制系统 | 触摸屏+PLC自动控制 |
5 | 进气系统 | 标配2路工作气体,可扩展至5路工作气体(Ar2、N2、H2、CF4、O2) |
机型用途:用于处理PI聚酰亚胺薄膜、FPC柔性线路板的真空卷对卷设备; 设备特点:主要用于处理100~600mm宽幅之材料,材料在真空室内部水平处理,上下料简单,可用于刻蚀工艺。真空室自动开关,一键式启停,操作简单方便。 ※真空室内置张力控制系统,有效保护材料涨缩,使处理更加平稳; ※ 高性能等离子发生器,激发更为稳定之等离子体; ※ 特殊电极结构,更适合宽幅双面材料进行等离子体表面处理; ※ 采用中通水冷电极,真正实现过程温度控制,均衡均一; ※ 独特的卷曲设计,有效解决了卷式材料穿料问题,牵引材料更加便捷; ※ 具备上下料车,取代人工上下材料,上下卷更加方便; ※ 变频节能,通过真空制自动调节变频器频率,达到自动调节真空泵转速维持真空度; |
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