等离子体物理及其材料处理
2022-10-17
文章出自：物理学报气体放电产生的等离子体是集成电路制备不可或缺的关键技术，利用等离子体中活性粒子赋予的独特的物理和化学特性，可为超大规模集成电路制备提供具有定向性、选择性和纳米级精细性的绿色先进加工技
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等离子清洗在医疗产品上的应用
2022-10-17
等离子体清洗的机理等离子体是部分电离的气体，是物质常见的固体、液体、气态以外的第四态。等离子体由电子、离子、自由基、光子以及其他中性粒子组成。由于等离子体中的电子、离子和自由基等活性粒子的存在，其本身
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等离子清洗机在半导体晶圆清洗工艺上的应用
2020-10-10
文章出自公众号：半导体湿化学工艺与设备随着半导体技术的不断发展,对工艺技术的要求越来越高,特别是对半导体圆片的表面质量要求越来越严,其主要原因是圆片表面的颗粒和金属杂质沾污会严重影响器件的质量和成品率
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