等离子清洗机提高薄膜的附着力和均匀性主要通过以下几个步骤实现：

1. 表面清洗：等离子清洗机通过产生高能量的等离子体，对薄膜表面进行物理和化学的清洗。这些高能量的离子、电子和激发态的原子或分子能够有效地去除薄膜表面的有机污染物、油脂和其他杂质，使表面更加干净。

2. 表面活化：清洗后的薄膜表面通过等离子体的轰击，可以实现表面活化。这个过程中，等离子体中的活性粒子与薄膜表面发生反应，打断长分子结构链，产生高能基团。这些高能基团的存在使得薄膜表面更加活泼，有利于后续涂层或薄膜的沉积。

3. 提高附着力：活化后的薄膜表面，其自由能增加，润湿性、粘结性和印刷性都得到了提高。这就使得在薄膜上沉积的其他材料或涂层能够更好地与薄膜表面结合，提高了附着力。

4. 提高均匀性：等离子清洗机在处理过程中，可以通过调整工艺参数，如清洗时间、射频功率等，来控制等离子体的分布和能量输入，从而实现对薄膜表面处理的均匀性。这种均匀性处理可以使得薄膜表面各处的性质进一步提高。

综上所述，等离子清洗机通过表面清洗、表面活化和均匀性处理，可以有效地提高薄膜的附着力和均匀性，为OLED等高科技领域的应用提供了强有力的支持。