在线式真空等离子清洗机的工作原理主要基于等离子体的物理特性。在真空环境下，通过引入特定的气体，如氩气、氧气或氢气等，并施加高电压，使得气体发生电离，形成等离子体。等离子体中的活性粒子与材料表面发生化学反应，从而实现对材料表面的清洗、刻蚀、镀膜等功能。