真空等离子设备原理就是对材料的表面产生刻蚀的物理作用。真空等离子设备就是利用等离子体来实现普通清洗方法所无法达到的清洗效果，这种清洗方式不会对清洗对象表面产生任何伤害，由于真空等离子设备是在真空中进行清洗，因此不会对环境造成任何的污染。
真空等离子设备主要由三大结构组成：
控制单元：真空等离子设备主要由全自动控制、半自动控制、PC控制、液晶触摸屏控制四种控制单元，而控制单元主要由电源、控制系统、控制按钮和操作显示器等部分组成。
真空腔体：真空腔体就是用于清洗对象物的空间，主要有石英腔体和不锈钢真空腔体。由于其内部采用真空灭菌防菌以及等离子清洗法，对于腔体压力的承受有着一定的要求，所以需要采用材质较好的腔体进行配置。
真空泵：真空等离子设备的主要动力来源就是真空泵，主要作用是将真空腔体中的空气抽干，从而达到真空的环境，然后再进行等离子清洗。真空等离子设备的真空泵主要分为干泵和油泵。干泵主要以电力为动力源，而油泵则使用汽油或柴油为动力源。
