等离子清洗机技术特点是:它不分处理对象,能够处理不同的基材,不论是金属、半导体、氧化物还是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、据四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物)都能用等离子体很好地进行处理,因此,等离子清洗机特别适合不耐热和不耐溶剂的基底材料。等离子清洗机还能够选择性的对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗。
等离子清洗机整个清洗流程如下:
1、被清洗的工件送入真空式并加以固定,启动运行装置,开始排气,使真空室内的真空程度达到10Pa左右的标准真空度。通常排气时间大约需要几分钟。
2、向真空室内引入等离子清洗用的气体,并保持腔内压强稳定。按照等离子清洗机清洗材质的不同,可分别使用氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳等气体。
3、在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压,使气体被击穿,等离子清洗机通过放电而发生等离子化和产生等离子体,让在真空室产生的等离子体完全笼罩住被处理工件,等离子清洗机开始清洗作业,通常清洗处理持续几十秒到几十分钟不等。
4、清洗完毕后切断等离子清洗机电源,并通过真空泵将气体和气化的污垢抽走排出。
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