等离子清洗机选用气体当做清洗介质，合理地防止了因液体清洗介质对被清洗物产生的二次污染。等离子清洗机外接一台真空泵，工作时清洗腔中的等离子体轻柔冲刷被清洗物的外表，在短期内的清洗就能够 使有机污染物被彻底地清洗掉，同时污染物被真空泵抽走，其清洗程度达到分子级。等离子清洗器除了具备超清洗作用外，在特定条件下还可依据需要更改一些材料外表的特性，等离子体作用于材料外表，使外表分子的化学键发生重组，产生新的外表特性。对一些有独特用途的材料，在超清洗过程中等离子清洗器的辉光放电不仅增强了这些材料的粘附性、相容性和浸润性，并可消毒和杀菌。等离子清洗器广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。
等离子清洗机的运用，始于20世纪初，随之高科技产业的迅速发展，其运用越发广，现阶段已在诸多高科技领域中，处于关键技术的地位，等离子清洗技术对产业经济和人类文明影响巨大，首推电子资讯工业，尤其是半导体业与光电工业。
等离子清洗机已运用于各种电子元件的制造，能够 确信，没有等离子清洗机以及清洗技术，就没有今日这么发达的电子、资讯和通讯产业。此外，等离子清洗机以及清洗技术也运用在光学工业、机械与航天工业、高分子工业、污染防治工业和量测工业上，而且是产品提升的关键技术，比如说光学元件的镀膜、延长模具或加工工具寿命的抗磨耗层，复合材料的中间层、织布或隐性镜片的表面处理、微感测器的制造，超微机械的加工技术、人工关节、骨骼或心脏瓣膜的抗摩耗层等皆需等离子技术的进步，才能开发完成。
