【真空等离子设备】大多数有机物气体在低温等离子体作用下,聚合并沉积在固体表面形成连续、均匀、无针孔的超薄膜,可用作材料的防护层、绝缘层、气体和液体分离膜以及激光光导向膜等,应用于光学、电子学、医学等许多领域。
以聚甲基丙烯酸甲酯或聚碳酸酯塑料均可制成价廉且易于加工的光学透镜,但其表面硬度太低,易产生划痕。采用有机氟或有机硅单体,采用低温等离子体聚合技术在透镜表面沉积出10nm的薄层,可改善其抗划痕性和反射指数。
国外还有等离子体化学气相沉积技术应用于塑料窗用玻璃、汽车百叶窗和氖灯、卤天灯的反光镜的报道。
【等离子Plasma】等离子体聚合膜具有多种性能,可使同样的基材应用于很多领域。在金属和塑料上涂类金刚石碳耐磨涂料的化学气相沉积技术是把含碳气体导入等离子体中,该涂层耐化学药品、无针孔、不渗透,能防止各种化学药品侵蚀基材。同样还可将减摩涂料涂于挡风玻璃雨刮器上,或将低摩涂层涂于计算机磁盘上以降低磁头磁撞。
等离子聚乙烯膜沉积于硅橡胶表面后,硅橡胶对氧气的透过系数明显降低。由含氮单体制备反渗透膜,最高可阻出98%的食盐、生物体内的缓释药物一般采用高分子微囊,亦可采用等离子体聚合技术在微囊表面形成反渗透膜层。
