【真空等离子设备】等离子体可促使有机及无机化合物进行各种反应。
①由氢化合物、 挥发性卤化合物、 氟碳化合物、氟氮化合物生成相应的高分子化合物。如由SiH4、B5H9分别制成Si2H6或Si3H8及B10H16；由SiCl4、GeCl4、BCl3分别合成为、Ge2Cl6、B2Cl4；由CF4生成C2F4、C2F6、C3F6、C3F8,合成NF2、NF3、N2F2、N2F4等。
② 通过分子异构化，得到不同分子结构。 如 CH3·CH2·CH2·Cl成为CH3·CHCl·CH3;2萘基甲醚成为1甲基-2萘酚。
③将原子或小分子从原分子中脱除出来。由这过程可得到多种环产物或杂环结构。
④【等离子Plasma】双分子反应。如用苯组成联苯或联三苯。醚可以组成多种饱和烃及未饱和烃。
等离子体聚合反应
在适合的条件下，差不多所有有机化合物都能通过等离子体进行聚合。一般用光化学或自由基引发的气相聚合只限于乙烯基的有机化合物。
除非单体分子含有“极化团”，也只能得到低分子量的聚合物，如苯乙烯、丙烯腈、甲异丙醇酮等在气相中都不能聚合,除非它们先经过光敏化。
