【真空等离子设备】等离子体是由带正、负电荷的离子和电子,也可能还有一些中性的原子和分子所组成的集合体。在宏观上一般呈电中性。
等离子体可以是固态、液态和气态。电离气体就是一种气态等离子体。
等离子体中的基本过程是在电场和磁场的作用下,各种带电粒子间相互作用,引起多种效应。利用等离子体的特点可使它获得多种应用,现已构成了电工发展的一个新领域。
等离子体的应用取决于它的性质和状态。等离子体的性质常取决于以下因素:
①等离子体的组分,如原子、分子、离子、电子、化学基团等。
②粒子所处的状态,如中性态、激发态、电离态、活化的分子及自由基。【等离子处理机】
③各种粒子数密度,即单位体积中的粒子数。
④各种粒子的温度。如果电子和离子的温度相等,称为平衡态等离子体;反之,是非平衡态等离子体。
⑤等离子体所处的环境,如电场强度、磁场强度、电极结构、气流、放电容器等。
⑥各种因素的作用时间。
人工等离子体的温度大约为103 ~108 开,电子数密度约为108 ~1021/厘米3 ,电流为毫安~兆安数量级,气体压力为百帕~百千帕,放电频率从直流到微波,这些参量决定了等离子体的不同应用。主要有高温等离子体应用、热等离子体应用、冷等离子体应用三大类。【常压等离子设备】