【真空等离子设备】等离子体又称物质第四态，它是包含足够多的正负电荷数目近于相等的带电粒子的非凝聚系统。
其基本原理是利用极不均匀电场，形成电晕放电，产生等离子体，其中包含大量电子和正负离子以及具有强氧化性的自由基，它们与空气中的污染物发生非弹性碰撞，附着在上面，并且打开有害物质的化学键，使其分解成单质原子或无害分子，从而净化空气。
主要包括两方面：【常压等离子设备】
1.在产生等离子体的过程中，高频放电产生的瞬时高能量，打开了某些有害气体分子的化学键，使其分解成单质原子或无害分子。
2.等离子体中包含了大量的高能电子、离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基，这些活性粒子的平均能量高于气体分子的键能，它们和有害气体分子发生频繁的碰撞，打开气体分子的化学键生成单原子分子和固体颗粒，同时产生的大量·OH，·H2O，·O等自由基和氧化性极强的O3和有害气体分子发生化学反应生成无害产物。【等离子处理机】
