【真空等离子设备】在使用如塑料薄膜、橡胶和纤维织物等固体聚合物材料时，材料的性能不仅与其本体性质有关，而且材料的表面性能因素也占相当大的比重。例如涉及到粘接、吸附、摩擦、表面硬度等的场合。
因此为了更适应现代社会对材料多功能化的需求，常常对材料进行表面改性。本文介绍一种较新型的干式改性方法——等离子体表面改性。
等离子体是由某些气体物质接收到很高的能量激发而成的，由电子、离子、原子、分子和自由基，以及光子共同组成的集合体，总体上呈现电中性。
【常压等离子设备】等离子体是各种物质存在的一种状态，是与固态、液态、气态同一个层次的物质存在形式，有人称等离子体是物质的第四态。其实太阳的周围乃至宇宙中，多数物质都是以等离子体状态存在的。
在生活中，我们也常见等离子体，最常见的就是火焰了，火焰可以看作是可燃物质释放能量激发空气和其他分解挥发气体成为的等离子体状态，是最“原始”的人造等离子体。
目前用人造等离子体方法中，较多的是射线辐照激发的方式，有射频辉光放电（10~100MHZ，简称RF）和微波放电（超过1GHZ，简称MW）。在聚合物材料表面改性处理上，两者均有使用，RF放电等离子体更为常用，但MW方式产生的低压等离子体分布更均匀，对材料表面处理更均匀。【等离子喷枪】
