我们先简单的定义什么是等离子体,等离子体是一团含有正离子、电子、自由基及中性气体原子所组成的会发光的气体团,如日光灯、霓红灯发亮的状态,就是属于等离子体发亮的状态。
等离子体的产生最主要是靠电子去撞击中性气体原子,使中性气体原子解离而产生等离子体,但中性气体原子核对其外围的电子有一束缚的能量,我们称它为束缚能。【真空等离子设备】
外界的电子能量必须大于此束缚能,才会有能力解离此中性气体原子,但是,此外界的电子往往是能量不足的,没有解离中性气体原子的能力,所以,我们必须用外加能量的方法给原子电子能量,使电子有利用解离此中性气体原子。
要外加能量给电子,最简单的方法就是用平行电极板加一直流电压,电子在电极中,会被带正电的电极所吸引而加速,在加速的过程中电子可以累积能量,当电子的能量达到某一程度时,就有能力来解离中性气体原子,能产生高密度等离子体的方法有很多种,在此我们简单的介绍一些能产生高密度等离子体的方法。【卷对卷等离子处理设备】