【奥坤鑫 OKSUN】等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体。

 

　　这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学性能，如氧气的等离子体具有很高的氧化性，能氧化光刻胶反应生成气体，从而达到清洗的效果。

 

　　腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性，这样就能满足刻蚀的需要。利用等离子处理时会发出辉光，故称之为辉光放电处理。【真空等离子设备】

 

　　辉光放电时，在放电管两极电场的作用下，电子和正离子分别向阳极、阴极运动，并堆积在两极附近形成空间电荷区 。

 

　　因正离子的漂移速度远小于电子，故正离子空间电荷区的电荷密度比电子空间电荷区大得多，使得整个极间电压几乎全部集中在阴极附近的狭窄区域内。这是辉光放电的显着特征，而且在正常辉光放电时，两极间电压不随电流变化。

 

　　所以，我们在实验或生产过程中，千万不要将材料接触于电极板任何部位，否则将会导致整机短路，严重的情况则会烧坏电路板等。正确理解辉光的原理，对我们等离子清洗工艺处理特殊材质会有很大的帮助！【卷对张等离子处理设备】